微電子新材料:超凈高純電子級試劑

2014年10月16日
     微電子技術主要是指用于半導體器件和集成電路(IC)微細加工制作的一系列蝕刻和處理技術,其中集成電路,特別是大規模及超大規模集成電路的細微加工技術又是微電子技術的核心,是電子信息產業最關鍵、最為重要的基礎。

超凈高純試劑是作為集成電路(IC)制造的關鍵性基礎化工材料之一,是微電子生產的重要材料,大量應用于硅晶片的濕法蝕刻、 印刷電路板的腐蝕劑、芯片清洗等干燥、清洗、光刻、蝕刻等工序。它的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。高純超凈微電子材料作為精細化學品,附加值很高。高純超凈微電子材料,主要包括高純超凈電子級雙氧水、高純超凈電子級乙醇、高純超凈電子級磷酸、高純超凈電子級硫酸、高純超凈電子級鹽酸等。

  電子級硫酸是微電子材料的重要家族。我國的電子級硫酸工業相對落后,最大生產企業是上市公司華宜高純超凈微電子材料有限公司,年生產規模是1000t/a。高科祥高新材料公司項目一期建成投產后,可成為國內最大高純超凈電子級硫酸、高純超凈雙氧水生產企業之一。
來源:韶關高科祥高新材料有限公司
韶關高科祥高新材料有限公司
楊靖宇
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